特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體種類(lèi)繁多,通??蓞^分為電子氣體、標準氣、環(huán)保氣、醫用氣、焊接氣、殺菌氣等。
其中,電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支,它是指半導體工業(yè)用的氣體統稱(chēng),是發(fā)展集成電路、光電子、微電子等產(chǎn)業(yè)過(guò)程中不可缺少的基礎性支撐源材料,被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”。電子氣體主要可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類(lèi)。
此外,標準氣體主要用于監測和校準,如環(huán)保類(lèi)標準氣體和醫藥衛生標準氣體。高純氣體則用于鋼鐵、化工、電力、金屬加工等傳統工業(yè)領(lǐng)域。
以上只是特種氣體的一部分,實(shí)際上特種氣體的種類(lèi)非常多,且在不同領(lǐng)域中有不同的應用和需求。
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