電子氣體技術(shù)標準
工業(yè)電子氣體是氣體工業(yè)名詞，半導體工業(yè)用的氣體統稱(chēng)電子氣體。按其門(mén)類(lèi)可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類(lèi)。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級和使用場(chǎng)合，可分為電子級，LSI(大規模集成電路)級，VLSI(超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路)級。
近幾年來(lái)，智研數據研究中心隨著(zhù)我國超大規模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，電子氣體市場(chǎng)需求量明顯增長(cháng)，電子特種氣體的國產(chǎn)化已是大勢所趨。據了解，我國在國產(chǎn)化方面取得可喜進(jìn)展:國產(chǎn)高純氨改變了國外氣體公司壟斷市場(chǎng)的格局，高純四氟化碳"有價(jià)無(wú)貨"時(shí)代也宣告結束，高純氯化氫已成功打開(kāi)國內市場(chǎng)。
電子氣體(Electronicgases)是超大規模集成電路、平面顯示器件，化合物半導體器件，太陽(yáng)能電池，光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的超大規模集成電路工廠(chǎng)的晶圓片制造過(guò)程中，全部工藝步驟超過(guò)450道，其中大約要使用50種不同種類(lèi)的電子氣體。電子氣體輸送系統是指為滿(mǎn)足工藝制程的需求，在充分保證工藝和產(chǎn)品安全使用的前提下，將電子氣體從氣源端無(wú)二次污染、控制工藝需求的流量和壓力等參數、穩定地輸送到工藝生產(chǎn)設備的用氣點(diǎn)。根據氣體性質(zhì)和供應包裝的不同，一般電子氣體可劃分為大宗普通氣體、特種氣體和大宗特種氣體。
